发布时间：2024-04-19 来源：网络
一种抛光机供液控制系统，包括抛光机、蓄液桶、可编程控制器，抛光机与蓄液桶之间设有供液系统、液体回收系统，供气系统；供气系统包括与气源连通的气源过滤器、与气源过滤器连通的气压力开关、与气压力开关连通的电气比例阀、与电气比例阀连通的电磁阀、与电磁阀连通的隔膜泵、与隔膜泵连通的第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀；供液系统包括与蓄液桶连接的第一隔膜阀，第一隔膜阀与第一电磁阀连通，第一隔膜阀的出液口连接有供液管，供液管远离第一隔膜阀的一端与抛光机的进液口连通；液体回收系统包括与蓄液桶连接的第二隔膜阀，第二
1.一种抛光机供液控制系统，其特征在于：包括抛光机、蓄液桶、水冷机、可编程控制
所述供气系统包括与气源连通的气源过滤器、与所述气源过滤器连通的气压力开关、
与气压力开关连通的电气比例阀、与电气比例阀连通的电磁阀、与电磁阀连通的隔膜泵、与
所述供液系统包括与所述蓄液桶连接的第一隔膜阀，所述第一隔膜阀与所述第一电磁
阀连通，所述第一隔膜阀的出液口连接有供液管，所述供液管远离所述第一隔膜阀的一端
所述液体回收系统包括与所述蓄液桶连接的第二隔膜阀，所述第二隔膜阀与所述第二
电磁阀连通，所述第二隔膜阀的进液口连接有进液管，所述进液管远离所述第二隔膜阀的
所述可编程控制器与所述气压力开关、电气比例阀、电磁阀、隔膜泵、第一电磁冰球突破游戏网站在线玩阀、第二
2.根据权利要求1所述的抛光机供液控制系统，其特征在于：所述供管内设有流量传感
器；所述蓄液桶内设有液位传感器、PH温度传感器、第三隔膜阀，所述第三隔膜阀与所述第
3.根据权利要求2所述的抛光机供液控制系统，其特征在于：所述进液管上设有过滤器
和回收气泵，所述回收气泵上设有第四电磁阀，所述第四电磁阀与所述隔膜泵连通。
4.根据权利要求3所述的抛光机供液控制系统，其特征在于：所述蓄液桶的底部设有手
5.根据权利要求4所述的抛光机供液控制系统，其特征在于：还包括清洗系统，所述清
洗系统包括与所述水槽连通的第一清洗管和第二清洗管，所述第一清洗管远离所述水槽的
一端通过第四隔膜阀与所述供液管连通，所述第二清洗管远离所述水槽的一端通过第五隔
6.根据权利要求5所述的抛光机供液控制系统，其特征在于：所述第四隔膜阀上连接有
第六电磁阀，所述第五隔膜阀上连接有第八电磁阀，所述第六电磁阀和所述第八电磁阀均
7.根据权利要求6所述的抛光机供液控制系统，其特征在于：所述水冷机内设有液位报
8.根据权利要求7所述的抛光机供液控制系统，其特征在于：所述流量传感器、液位传
感器、PH温度传感器、第四电磁阀、回收气泵、第六电磁阀、第八电磁阀、水泵均与所述可编
[0001]本发明涉及抛光机供液技术领域，具体地为一种抛光机供液控制系统。
[0002]抛光机是制造半导体晶圆的核心装备之一，它利用上盘和下盘之间的相对运动进
行抛光研磨，在抛光过程中添加药液进一步提高抛光效率，但是药液添加面临着出液流量
一种抛光机供液控制系统，包括抛光机、蓄液桶、水冷机、可编程控制器，所述抛光
关、与气压力开关连通的电气比例阀、与电气比例阀连通的电磁阀、与电磁阀连通的隔膜
电磁阀连通，所述第一隔膜阀冰球突破游戏网站在线玩的出液口连接有供液管，所述供液管远离所述第一隔膜阀的
第二电磁阀连通，所述第二隔膜阀的进液口连接有进液管，所述进液管远离所述第二隔膜
所述可编程控制器与所述气压力开关、电气比例阀、电磁阀、隔膜泵、第一电磁阀、
[0005]在一个实施方式中，所述供管内设有流量传感器；所述蓄液桶内设有液位传感器、
[0006]在一个实施方式中，所述进液管上设有过滤器和回收气泵，所述回收气泵上设有
[0008]在一个实施方式中，还包括清洗系统，所述清洗系统包括与所述水槽连通的第一
清洗管和第二清洗管，所述第一清洗管远离所述水槽的一端通过第三隔膜阀与所述供液管
[0009]在一个实施方式中，所述第四隔膜阀上连接有第六电磁阀，所述第四隔膜阀上连
[0010]在一个实施方式中，所述水冷机内设有液位报警开关，所述报警开关连接有水泵。
[0011]在一个实施方式中，所述流量传感器、液位传感器、PH温度传感器、第四电磁阀、回
同时兼备水冷机的液位和供液系统蓄液桶液位的检测功能，当可编程控制器检测到流量或
者液位发生变化时能够自动调节流量和液位，通过本发明的供液控制系统能够实现流量的
[0014]本实施例包括抛光机、蓄液桶、水冷机、可编程控制器，抛光机与所蓄液桶之间设
压力开关连通的电气比例阀、与电气比例阀连通的电磁阀、与电磁阀连通的隔膜泵、与隔膜
在本实施例中，供液管内设有流量传感器；蓄液桶内设有液位传感器、PH温度传感
[0015]供液系统包括与蓄液桶连接的第一隔膜阀，第一隔膜阀与第一电磁阀连通，第一
隔膜阀的出液口连接有供液管，供液管远离第一隔膜阀的一端与抛光机的进液口连通；
第二隔膜阀的进液口连接有进液管，进液管远离所述第二隔膜阀的一端与抛光机的出液口
连通；在本实施例中，进液管上设有过滤器和回收气泵，回收气泵上设有第四电磁阀，第四
洗管远离水槽的一端通过第三隔膜阀与供液管连通，第二清洗管远离水槽的一端通过第四
隔膜阀与进液管连通，第三隔膜阀上连接有第六电磁阀，第四隔膜阀上连接有第八电磁阀，
[0017]可编程控制器与气压力开关、电气比例阀、电磁阀、隔膜泵、第一电磁阀、第二电磁
[0018]流量传感器、液位传感器、PH温度传感器、第四电磁阀、回收气泵、第六电磁阀、第
[0019]此外，蓄液桶的底部设有手动球阀，从而通过开启手动球阀可进行蓄液桶内液体
同时可编程控制器根据供液管内的流量传感器的数据开始进行PID运算，不断调
节电气比例阀的气压大小来控制隔膜泵，通过不断的反馈计算致使流量稳定在设定的数值
阀连通，使得第二隔膜冰球突破游戏网站在线玩阀打开，进而抛光机流出的药液通过第二隔膜阀进入到蓄液桶内，达
[0021]由于抛光过程中会有药液损耗，无法做到百分之百的回收，蓄液桶内的液位传感
器反馈桶内液位数值，到达低液位时，可编程控制器控制第三电磁阀与第三隔膜阀连通，且
第三隔膜阀与药液槽连通，使得蓄液桶开始补充药液，当液位传感器反馈桶内液位数值到
由于抛光过程中会产生大量的热致使药液温度升高，位于蓄液桶内的PH温度传感
管道之后通过回液管道回到冷却机，当水冷机的液位报警开关报警时，可编程控制器水泵
[0022]当供液结束之后，可编程控制器控制第六电磁阀、第八电磁阀分别与第四隔膜阀、
第五隔膜阀连通，同时控制第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀关闭；清水从
水槽内通过第四隔膜阀、第五隔膜阀进入供液管和进液管、并对供液管和进液管进行清洗。
[0023]最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管
参照前述实施例对本发明技术方案进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解，其依
然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行同等替
换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精
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