发布时间：2024-04-18 来源：网络
蓝宝石难以加工。蓝宝石一般采用化学机械抛光技术进行加工。然而，机械加工中的低(MRR) 对大规模制造蓝宝石造成了一些限制。冰球突破固定式超细磨料磨削是一种很有前途的蓝宝石衬底精密磨削技术，为提高制造效率提供了可能。在这项研究中，以创新的方式制造了一种新型多孔和陶瓷化 M0.5/1.5 金刚石砂轮和制备设备，以精确研磨蓝宝石。实验结果表明砂轮的推荐工艺参数，转速低于1200rpm，压力低于15N，蓝宝石主轴转速低于 30 rpm。同时，冰球突破推荐工艺参数下蓝宝石的去除机理为延性磨削模式。此外，在本研究中，当采用推荐的工艺参数时，蓝宝石的 MRR 为 10.2 µm / h，冰球突破研磨后蓝宝石的 Sa 为 0.03 µm，未观察到表面损伤层深度。
